INESC Microsistemas e Nanotecnologias - Instituto de Engenharia de Sistemas e Computadores para os Microsistemas e as Nanotecnologias (INESC-MN)

Processo completo de micro- nanofabricação, desde processamento de nível único a dispositivos finalizados para fase de pré-produção: 1) deposição de filmes finos e engenharia de multicamadas, 2) várias técnicas de litografia, 3) remoção de seletiva de materiais e 4) caracterização de filmes não padronizados e dispositivos microfabricados.

Fabrico, metrologia e teste de dispositivos microfluídicos que integram sensores e atuadores. Apoio ao desenvolvimento de dispositivos microfluidicos simples ou integrados (lab-on-a-chip, organ-on-a-chip, cell chips, droplet microfluidics, entre outros).